Isolation: Herstellung von Polysilizium

Wir bieten Verbrauchsmaterial und Anlagen für Polysiliziumhersteller:

• Elektroden aus ultrareinem Graphit
• Heizelemente aus ultrareinem Graphit
• Große Zylinder aus ultrareinem Graphit Kohlefaserverbundstoffen
• Steife und flexible Filzisolationsplatten aus Kohlefaserverbundstoff
   

Während der Abscheidungsprozesse wird ein erheblicher Teil des Gases in STC (SiCl4) umgewandelt. Zur Steigerung der Ausbeute muss dieses STC als TCS in einem Hochtemperatur-Hydrierungsreaktor bei 1.500 °C rezykliert werden.

Mersen ist ein anerkannter Marktführer mit seinem besonders wettbewerbsfähigen und umfassenden Angebot:

• Zylinder aus ultrareinem Graphit bis 1.5 m Durchmesser
• Spezialbeschichtungen für längere Lebensdauer
• Wärmeisolation aus hochleistungsfähigem gereinigtem steifen Kohlefaserverbundstoff
• Heizelemente und Platte aus Kohlefaserverbundstoff
• Isolation Wirbelschichtreaktor Mersen

In der Quarzkammer des Reaktors werden Siliziumfeinstkörner in einen Silangegenstrom geleitet. Der Reaktor und der Gaseinlass werden durch Graphitheizelemente aufgeheizt. Die Isolation bildet steifer Filz. Das Silan zersetzt sich zu Silizium und bläht die Feinstkörner auf. Das reine Silizium wird in Körnerform gewonnen.

Die Reaktorkammer aus Quarz enthält sehr dünne U-förmige Siliziumstäbe, die an die Elektroden aus gereinigtem Graphit montiert sind. Die Siliziumstäbe heizen sich durch den Strom auf, der von den Graphitelektroden bereitgestellt wird. Gasförmiges Trichlorsilan SiHCl3 (TCS) dringt bei hohen Temperaturen in die Abscheidungskammer ein und zersetzt sich, wobei reines Silizium auf den heißen Stäben abgeschieden wird.

Nach Abschluss des Abscheidungsprozesses werden die Siliziumstäbe aus dem Reaktor herausgenommen und zerschlagen, um das Polysilizium zu gewinnen.

Mersen liefert Elektroden aus ultrareinem Graphit als Verbrauchsmaterialien für diesen Prozess.