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Halbleiter und optomechanische OEMs

semiconductor opto mechanics oems mersen

Mersen Boostec liefert die ultra-stabilen Siliziumkarbid-Strukturen, die heute für Halbleiter und optomechanische Geräte benötigt werden.

Halbleiter und optomechanische OEMs

BOOSTEC® SiC-Lösungen werden dort eingesetzt, wo höchste Präzision gefordert ist:

  • Industrielle Halbleiterprozesse
  • EUV-Lithographiemaschinen,
  • Fortschrittliche Messgeräte für optische Oberflächen,
  • Ultravakuum
  • Wissenschaftliche Anlagen und Geräte

Boostec® SiC Lösung

Boostec Kompetenz in Fertigung & Design

Einzigartige Erfahrung in der Herstellung von ultra-stabilen Strukturen der 3-Meter-Klasse.

Möglichkeit einer integrierten Lösung aus einem Guss: Luftlagersystem, Kühlung mit Innenkanälen, Spiegel.

Von monolithischen SiC-Teilen bis hin zu äußerst komplexen Baugruppen fertigt Mersen Boostec hochstabile Stände, Bodenplatten, Träger, Schiebekonstruktionen für schnelle und genaue Positionierung, Futter

 

Lösungen von Boostec® SiC

  • Konfigurationsmöglichkeiten offener Lösungen mit Boostec® SiC
  • Hohe mechanische Festigkeit und keine mechanische Ermüdung
  • Perfekte Isotropie des SiC-Materials,
  • Makellose polierbare Oberflächen zur Verwendung als optische Referenz
  • Optimale Stabilität im Zeitablauf
  • Wasser- und gasdicht, keine Ausgasung, keine Feuchtigkeitsaufnahme
  • Verschleißfestigkeit
  • Ausgezeichnete chemische Trägheit

Kontakt Frankreich

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